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HC-PL12等離子清洗機

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桌上型微波等離子清洗機HC-PL12,采用優化的集成PLC工藝控制系統,特別適合研發和小批量生產等領域的需求。

產品特點
USB接口
以太網接口
遠程維護(VPN)
微波源上裝/側裝
易于操作的圖形化界面

技術指標

外形尺寸

W880×H580×D720mm

腔體內部尺寸

W230×H230×D245mm

微波功率

2.45GHz,100-500W可調

工藝氣路

標準1路,包括質量流量計和控制電磁閥等

真空接口

DN16KF

電源

380V,50/60Hz 3.3KW不含真空泵

控制單元

觸摸屏PLC控制

真空規

Pirani真空計

主要應用

半導體材料表面有機污染物去除和表面活性增強

 

 

 

 

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